4月21日，ASML公司发布了Q1季度财报，当季营收43.64亿欧元，同比增79%，上年同期为24.41亿欧元；净利润为13.31亿欧元，同比增240%，上年同期为3.91亿欧元。
ASML总裁兼首席执行官温彼得表示：“我们第一季度的销售额和毛利率均超出预期。事实上，销售额和毛利率的增长主要受益于累积装机管理销售额的增长。”
Q1季度中，ASML的光刻机订单数量还在增长，净订单额高达47.4亿欧元，其中EUV光刻机就占到了22.9亿欧元。
虽然ASM没有公布有多少EUV光刻机新订单，不过按照1亿欧元的单价来算，当季至少有20台EUV光刻机被人订走，主要客户也就是台积电、三星及Intel这三家。
ASML预计2021年第二季度的净销售额将在40亿欧元至41亿欧元之间，毛利率约为49%。
至于2021年，ASML CEO表示，“和三个月前相比，我们发现所有细分市场和产品组合的需求都显著增加，预计2021年的收入将实现30％的增长。”